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洁净室漏光法检测与漏风量测试方法

A.1 洁净室漏光法检测

A.1.1漏光法检测是利用光线对小孔的强穿透力,对系统风管严密程度进行检测的方法。

A.1.2检测应采用具有一定强度的安全光源。手持移动光源可采用不低于100W带保护罩的低压照明灯,或其他低压光源。

A.1.3系统风管漏光检测时,光源可置于风管内侧或外侧,但其相对侧应为暗黑环境。检测光源应沿着被检测接口部位与接缝作缓慢移动,在另一侧进行观察,当发现有光线射出,则说明查到明显漏风处,并应做好记录。

A.1.4对系统风管的检测,宜采用分段检测、汇总分析的方法。在严格安装质量管理的基础上,系统风管的检测以总管和干管为主。当采用漏光法检测系统的严密性时,低压系统风管以每10m接缝,漏光点不大于2处,且100m接缝平均不大于16处为合格;中压系统风管每10m接缝,漏光点不大于1处,且100m接缝平均不大于8处为合格。

A.1.5漏光检测中对发现的条缝形漏光,应作密封处理。

A.2测试装置

A.2.1漏风量测试应采用经检验合格的专用测量仪器,或采用符合现行国家标准《流量测量节流装置》规定的计量元件搭设的测量装置。

A.2.2漏风量测试装置可采用风管式或风室式。风管式测试装置采用孔板做计量元件;风室式测试装置采用喷嘴做计量元件。

A.2.3漏风量测试装置的风机,其风压和风量应选择分别大于被测定系统或设备的规定试验压力及最大允许漏风量的1.2倍。

A.2.4漏风量测试装置试验压力的调节,可采用调整风机转速的方法,也可采用控制节流装置开度的方法。漏风量值必须在系统经调整后,保持稳压的条件下测得。

A.2.5漏风量测试装置的压差测定应采用微压计,其最小读数分格不应大于2.0Pa。

A.2.6风管式漏风量测试装置:

1、风管式漏风量测试装置由风机、连接风管、测压仪器、整流栅、节流器和标准孔板等组成。

2、本装置采用角接取压的标准孔板。孔板β值范围为0.22~0.7(β=d/D);孔板至前、后整流栅及整流栅外直管段距离,应分别符合大于10倍和5倍圆管直径D的规定。

3、本装置的连接风管均为光滑圆管。孔板至上游2D范围内其圆度允许偏差为0.3%;下游为2%。

4、孔板与风管连接,其前端与管道轴线垂直度允许偏差为1°;孔板与风管同心度允许偏差为0.015D。

5、在第一整流栅后,所有连接部分应该严密不漏。

6、孔板的流量系数与β值的关系确定,其适用范围应满足下列条件,在此范围内,不计管道粗糙度对流量系数的影响。

105<Re<2.0×106

0.05<β≤0.49

50mm<D≤1000mm

雷诺数小于105时,则应按现行国家标准《流量测量节流装置》求得流量系数α。

8、孔板的空气流束膨胀系数ε值查得。

表A.2.6 采用角接取压标准孔流束膨胀系数ε值(k=1.4)

p2/p1β4

1.0

0.98

0.96

0.94

0.92

0.90

0.85

0.80

0.75

0.08

1.0000

0.9930

0.9866

0.9803

0.9742

0.9681

0.9531

0.9381

0.9232

0.1

1.0000

0.9924

0.9854

0.9787

0.9720

0.9654

0.9491

0.9328

0.9166

0.2

1.0000

0.9918

0.9843

0.9770

0.9689

0.9627

0.9450

0.9275

0.9100

0.3

1.0000

0.9912

0.9831

0.9753

0.9676

0.9599

0.9410

0.9222

0.9034

注:1本表允许内插,不允许外延。2P2/P1为孔板后与孔板前的全压值之比。

9、当测试系统或设备负压条件下的漏风量时,装置连接应符合规定。

A.2.7、风室式漏风量测试装置:

1、风室式漏风量测试装置由风机、连接风管、测压仪器、均流板、节流器、风室、隔板和喷嘴等组成。

2、测试装置采用标准长劲喷嘴。喷嘴必须按要求安装在隔板上,数量可为单个或多个。两个喷嘴之间的中心距离不得小于较大喷嘴喉部直径的3倍;任一喷嘴中心到风室最近侧壁的距离不得小于其喷嘴喉部直径的1.5倍。

3、风室的断面面积不应小于被测定风量按断面平均速度小于0.75m/s时的断面积。风室内均流板(多孔板)安装位置应符合规定。

4、风室中喷嘴两端的静压取压接口,应为多个且均布于四壁。静压取压接口至喷嘴隔板的距离不得大于最小喷嘴喉部直径的1.5倍。然后,并联成静压环,再与测压仪器相接。

5、平共处采用本装置测定漏风量时,通过喷嘴喉部的流速应控制在15~35m/s范围内。

6、本装置要求风室中喷嘴隔板后的所有连接部分应严密不漏。

表A.2.7喷嘴流量系数表

Re

流量系数Cd

Re

流量系数Cd

Re

流量系数Cd

Re

流量系数Cd

12000

0.950

40000

0.973

80000

0.983

200000

0.991

16000

0.956

50000

0.977

90000

0.984

250000

0.993

20000

0.961

60000

0.979

100000

0.985

300000

0.994

30000

0.969

70000

0.981

150000

0.989

350000

0.994

注:不计温度系数。

8、当测试系统或设备负压条件下的漏风量时,装置连接应符合规定。

A.3、漏风量的测试

A.3.1、正压或负压系统风管与设备的漏风量测试,分正压试验和负压试验两类。一般可采用正压条件下的测试来检验。

A.3.2、系统漏风量测试可以整体或分段进行。测试时,被测系统的所有开口均应封闭,不应漏风。

A.3.3、被测系统的漏风量超过设计和本规范的规定时,应查出漏风部位(可用听、摸、观察、水或烟检漏),做好标记;修补完工后,重新测试,直至合格。

A.3.4、漏风量测定值一般应为规定测试压力下的实测数值。特殊条件下,也可用相近或大于规定压力下的测试代替,其漏风量可按下式换算:

Q0=Q(P0/P)0.65

式中 P0————规定试验压力,500Pa;

Q0————规定试验压力下的漏风量{m3/(h·㎡)};

P——风管工作压力(Pa);

Q——工作压力下的漏风量{m3/(h·㎡)}。

附录B 洁净室测试方法

B.1、风量或风速的检测

B.1.1、对于单向流洁净室,采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。离高效过滤器0.3m,垂直于气流的截面作为采样测试截面,截面上测点间距不宜大于0.6m,测点数不应少于5个,以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。

B.1.2、对于非单向流洁净室,采用风口法或风管法确定送风量,做法如下:

1、风口法是在安装有高效过滤器的风口处,根据风口开头连接辅助风管进行测量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口开头及内截面相同,长度等于2倍风口长边长的直管段,连接于风口外部。在辅助风管出口平面上,按最少测点数不少于6点均匀布置,使用热球式风速仪测定各测点之风速。然后,以求取的风口截面平均风速乘以风口净截面积求取测定风量。

2、对于风口上风侧有较长的支管段,且已经或可以钻孔时,可以用风管法确定风量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3倍管径或长边长,局部阻力部件后5部管径或长边长的部位。

对于矩形风管,是将测定截面分割成若干个相等的小截面。每个小截面尽可能接近正方形,边长不应大于200mm,测点应位于小截面中心,但整个截面上的测点数不宜少于3个。

对于圆形风管,应根据管径大小,将截面划分成若干个面积相同的同心圆环,每个圆环测4点。根据管径确定圆环数量,不宜少于3个。

B.2、洁净室静压差的检测

B.2.1、静压差的测定应在所有的门关闭的条件下,由高压向低压,由平面布置上与外界最远的里间房间开始,依次向外测定。

B.2.2、采用的微差压力计,其灵敏度不应低于2.0Pa。

B.2.3、有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室,其洞口处应有合理的气流流向。洞口的平均风速大于等于0.2m/s时,可用热球风速仪检测。